FS1015CL气体流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS㸧 流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。产品测量范围可达150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于各种医疗设备上微小流量测量。

FS1015CL气体流量传感器特点

1.传感器灵敏度高，有极小的始动流量

2.传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量

3.在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高

4.传感器的零点稳定度高全量程高稳定性

5.全量程高精确度和优良的重复性

6.低功耗 低压损 响应速度快

气体流量计技术参数和尺寸：

FS1015CL气体流量传感器安装使用：

1.产品包装盒内应包含下列物品˖

   气体质量流量传感器 一只  

   配线SN5-50 一根

  本产品说明书 一份 合格证 一份

2. 确认产品无任何机械损坏

3. 将传感器安装到管道上ˈ为了保证测量精度ˈ安装时候应保证前端 有大于10倍管径的直管段ˈ后端有大于5倍管径的直管段；或者在传感器前直管段上加300目的过滤网

4. 将传感器的配线按照技术参数及输出引线定义正确连接到使用装置上

5. 确认连接正确后ˈ接通电源

安装和维护：

1. 封装材料及其兼容性

本产品的主体采用了无毒医用塑料。而微电子机械系统流量芯片表体组成材料有氮化硅、氧化硅和无毒医用PCB板材。传感器与导管 间的连接采用了按可承受2个大气压标准的气密封装。电路的防潮及密 封采用了常用的RTV WR-704（主要成分为HOCH [SiO] CH H）硅橡 3 n3 胶。

2. 安全注意事项

本产品适用于各类无腐蚀清洁气体的测量本产品设计使用环境 为医疗设备兼容环境有关产品应用的信息ˈ请与厂商咨询，与其他采用热质量传感器制成的产品一样ˈ在清洁及无 强腐蚀性的气体中ˈ本产品的工作状态本产品的气密性良好ˈ无泄漏ˈ定期气密检测会保障产品的安全性ˈ本产品一般应在一年内校验一次

注意：本产品不适用于液态物质的测量。

3. 清洁消毒

本产品可以采用液体浸泡消毒ǃ气体消毒以及紫外线消毒ˈ一般操作步骤如下：

将传感器浸入消毒溶液中ˈ 保证传感器壳体全部处于液面ˈ维持30分钟； 取出后在清水中浸泡30分钟ˈ反复两次； 在烘箱中65℃烘干120分钟； 若为气体或者紫外线消毒ˈ则只需要使传感器处于相应环境 中静置30分钟

注意：在消毒过程中传感器切不可处于通电状态。